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真空状態で使用するには、ガスの発生率を低くすることが必要です。
当社の真空対応アクチュエータでは、ピエゾ素子がアウトガスの発生の少ない絶縁体でコーティングされています。
電気絶縁性にも優れ、低誘導率・低誘電正接です。
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 特 徴
 低電圧で変位量が大きい。 |
小型・軽量である。 |
| エネルギー変換効率が大きい。 |
電磁的雑音が発生しない。 |
| 広い温度範囲で使用できる。 |
応答性が速い。 |
| 真空状態でのアウトガスの発生が少ない。 |
給電ケーブルにカプトン線を使用。 |
| プラグ差込口のない形状。 |
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素子コーテイング
| 真空対応ＰＺＴアクチュエータは科学蒸着法（ＣＶＤ）による絶縁・防湿・耐薬品コーテイングをしています。 |
| 無酸素状態での対放射線性に優れ、アウトガスの発生がほとんどありません。 |
仕 様
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ＭＯＤＥＬ |
ＣＰ-９０Ｖ |
ＣＰ-５０Ｖ |
ＣＰ-３６Ｖ |
ＣＰ-１５Ｖ |
| 形 状 |
L (mm)＊裏面図参照 |
140 |
91.5 |
68.5 |
48.5 |
| φ(mm)＊裏面図参照 |
20 |
15 |
15 |
15 |
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電気特性 |
静電容量Ｃ（ｎＦ） |
2350±20％ |
500±20％ |
800±20％ |
900±20％ |
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絶縁抵抗Ｒ０（Ω） |
1×10８以上 |
1×10８以上 |
1×10８以上 |
1×10８以上 |
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最大定格駆動電圧Ｅ０（Ｖ） |
300 |
300 |
250 |
150 |
| 特 |
定格変位量 Ｘ０（μｍ） |
９１±８ |
５３±５ |
４０±３ |
１６±２ |
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Ｘ０／Ｅ０ （μｍ／Ｖ） |
0.32 |
0.19 |
0.16 |
0.13 |
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機械特性 |
発生力 （Ｎ） |
４０００以上 |
１３００以上 |
１２００以上 |
７００以上 |
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コンプライアンス（μｍ／Ｎ） |
0.02 |
0.04 |
0.03 |
0.02 |
| 性 |
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ヒステリシス |
約１０％ （オープン駆動時） |
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温 度 |
キュリー点（℃） |
210 |
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最低、最高保存温度（℃） |
－４０～１２０ |
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分解能と感度
歪センサー機能を生かして、０．３Ｖの電圧制御と、約０．２４ｍ?の抵抗計測・制御により、０．０６μｍの超
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| 精密微細制御が容易に行えます。（ＣＰ－５５Ｖ） |
| ＭＯＤＥＬ |
ＣＰ－９０Ｖ |
ＣＰ－５５Ｖ |
ＣＰ－３６Ｖ |
ＣＰ－１５Ｖ |
| 分解能（μｍ） |
０．１ |
０．０６ |
０．０４ |
０．０２ |
| 感度（μｍ/ｍ? |
０．４２６ |
０．２５３ |
０．１５４ |
０．０７０９ |
アウトガス試験
| 表 ガス成分分析結果 |
| 成 分 |
素子（ＣＰ－１５Ｖ）+ケーブル+カバー |
| 水 分 |
９７.１８ |
| 水 素 |
００５ |
| 窒 素 |
１.２８ |
| 酸 素 |
０.８９ |
| アルゴン |
０.０４ |
| 炭酸ガス |
０.５６ |
| ガス量（ｍｌ／ａｔｍ.20℃） |
２.０５ |
※ 特記なき場合の単位：ｖｏｌ.％ ※ 質量分析法による測定
形 状
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ＰＺＴ駆動が今、可能性を秘めています。
