 変位量フィードバック制御による直線制御を実現
当社が独自に開発した抵抗式歪みゲージ利用により、超精密微細制御が容易に行えます。
 特 徴
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低電圧で変位量が大きい。 |
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エネルギー変換率が大きい。 |
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歪センサー内臓（標準）。 |
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応答性が速い。 |
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広い温度範囲で使用できる。 |
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小型・軽量である。 |
仕 様
| 特性 |
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ＭＯＤＥＬ |
ＣＰ－９０ |
ＣＰ－５５ |
ＣＰ－３６ |
ＣＰー１５ |
| 形 状 |
Ｌ（ｍｍ）＊図面参照 |
１４０ |
９１.５ |
６８.５ |
４８.５ |
| Φ（ｍｍ）＊図面参照 |
２０ |
１５ |
１５ |
１５ |
| 電気特性 |
静電容量Ｃ（ｎＦ） |
２３５０±２０％ |
５００±２０％ |
８００±２０％ |
９００±２０％ |
| 絶縁抵抗Ｒo（Ω） |
1×10８ 以上 |
1×10８ 以上 |
1×10８ 以上 |
1×10８ 以上 |
| 最大定格駆動電圧Ｅo（Ｖ) |
３００ |
３００ |
２５０ |
１５０ |
| 定格変位量Ｘo(μm.） |
９１±８ |
５３±５ |
４０±３ |
１６±２ |
| Xo／Eo （μm) |
０.３２ |
０.１９ |
０.１６ |
０.１３ |
| 機械特性 |
発生力 （N ） |
４０００以上 |
１３００以上 |
１２００以上 |
７００以上 |
| コンプライアンス（μm.） |
０.０２ |
０.０４ |
０.０３ |
０.０２ |
| ヒステリシス |
約１０％（オープン駆動時） |
| 温 度 |
キュリー点（℃） |
２１０ |
| 最低・最高保存温度（℃） |
－４０～120 |
分解能と感度
歪センサー機能を生かして、０.３Vの電圧制御と約０.２４mΩの抵抗計測・制御により
０.０６μm.の超精密微細制御が容易に行えます。
| Model |
CPー９０ |
CPー５５ |
CPー３６ |
CPー１５ |
| 分解能（μm.） |
０.１ |
０.０６ |
０.０４ |
０.０２ |
| 感度（μm.／mΩ） |
０.４２６ |
０.２５３ |
０.１５４ |
０.０７０９ |
形 状
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