| ピエゾアクチュエータは、今日では光通信技術の分 |
| 野のみならず各種製造加工装置の高速微細駆動 |
| 化の中でその需要が高まっております。 |
| 信頼性の高いピエゾアクチュエータ、ピエゾステージ、 |
| 専用コントローラ等、より優れた製品をご提供でき |
| ますよう努力しております。 |
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 超音波振動子用高周波電源
超精密微細切削用の高速駆動電力増幅器は、技術協力
周波数範囲 正 弦 波 １ｋＨｚ～６０ｋＨｚ
最大出力電圧 １８０Ｖ（peak) ±３００Ｖ（ｐ－ｐ）
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光学系ミラー制御
真空装置内での微細位置決め装置に弊社製真空対応ピエゾアクチュエータが採用されています。 変位量２０μｍ～６０μｍ 真空度１０－７ｔｏｒｒ
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大出力ＰＺＴアクチュエータ
最大発生力、1.4tonの高出力ＰＺＴは、高分解能静電容量センサとの組み合わせによってナノレベルの位置決めを可能にします。各種大型計測・加工機の機構制御において応用が期待できます。
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放射能施設における真空チャンバー内
微振動制御
世界最高性能の大型放射光施設Ｓpringー８の真空チャンバー内部の微振動軽減装置に弊社製真空対応ピエゾアクチュエータが活躍しています。 変位量４０μｍ～
１００μｍ 真空度１０－９torr |
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レーザ加工機用対物レンズ微動機構
レーザ加工機用対物レンズの微細駆動Ｘ－Ｙステージ。
ステージはΦ１６の透過型。変位量６０μｍ
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拡大機構付きピエゾステージ
５００μｍストローク（拡大機構付き）ピエゾステージをＸ.Ｙ２方向に配置してスリットをあけた金属プレートを駆動することによって受光素子に入射する光をチョッピングするための実験装置です。
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高負荷用ピエゾアクチュエータ
高分解能・高負荷用ピエゾ 変位量１００μｍ 精密加工機等幅広い分野で活躍するアクチュエータ。（発生力４０００Ｎ）
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基板検査用ピエゾステージ
エアチャック機能を備えたガラス基板検査用 １００μｍ透過型ステージ。
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