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ＰＺＴ　ページ見出し
コントローラ
ＭＰＣシリーズは、ピエゾアクチュエータの駆動電源として開発され、
サーボコントロール機能を追加する事によって、ピエゾ素子の直線制　　
御に問題となったヒステリシス特性を可能な限り押さえ込み、０.１μｍ　　
以下の再現性と分解能を実現しました。
更に装置背面には、GP-IB機能も用意してありますので、コンピュー
タの接続により研究開発は勿論の事、製品検査・品質管理に至る
まで幅広くお使い頂ける装置です。
　仕　様

制　御　軸　数 　　1軸．2軸．3軸
制　御　方　式 　　サーボ回路による直線制御
制　御　表　示 　　0.01μｍ直読（有効．以下1位）
分　 　解 　 能 　　※２０nm（当社アクチュエータ使用時）
直　　 線　　性 　　0.５％以下（当社アクチュエータ使用時）Ｆ.Ｓ
位置制御（手動） 　　１０回転ポテンショメータ及び外部入力
位置制御（外部） 　　ＧＰ－ＩＢ（ＭＰＣ＝３５０Ｇ.３８０Ｇ.４５０Ｇ）
出　力　電　圧 　　‐２０Ｖ～+２５０Ｖ・３００Ｖ
電　　　　　　源 　　１００Ｖ ＡＣ５０／６０Ｈｚ













　　　　　　　※ 別途高性能外部センサを組み込むことによりｎｍ制御も可能になります。

ＭＯＤＥＬ 機　　能　・　仕　　様
　　　　ＭＰＣ－３５０ １軸駆動用　２１３（Ｗ）×１００（Ｈ）×３００（Ｄ）
　　　　ＭＰＣ－３５０Ｇ １軸駆動用　ＧＰ－ＩＢ Ｉ／Ｆ ２１３（Ｗ）×１１１（Ｈ）×３００（Ｄ）
　　　　ＭＰＣー３８０ ２軸駆動用　３００（Ｗ）×１６０（Ｈ）×３００（Ｄ）
　　　　 ＭＰＣ－３８０Ｇ ２軸駆動用　ＧＰ－ＩＢ Ｉ／Ｆ ３００（Ｗ）×１６０（Ｈ）×３００（Ｄ）
　　　　ＭＰＣー４５０Ｇ ３軸駆動用　ＧＰ－ＩＢ Ｉ／Ｆ ３５０（Ｗ）×１６０（Ｈ）×３００（Ｄ）
　　　　ＭＰＣ－３６０ 特注仕様対応　 ２１３（Ｗ）×１１１（Ｈ）×３００（Ｄ
　　　　ＭＰＣ－４００ 特注仕様対応　 ３５０（Ｗ）×１６０（Ｈ）×３００（Ｄ）

　ブロック図

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　コントローラブロック図　

　測定データ

　　コントローラデータ

（ＰＺＴアクチュエータ　ＣＰ－３６使用時）


区切り線
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
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