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| ＰＺＴアクチュエータの性能を１００％損なうことなく出力するこ |
| とを可能とする専用のステージは、ＰＺＴ駆動に欠くことのでき |
| ない要素の一つです。小型化に成功し、超位置決め機構に |
| 最適です。 |
| ユーザー様のニーズに合わせて設計・製作も行っております。 |
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 用 途
 光ファイバー |
光学顕微鏡 |
光モジュール |
| 光導波路 |
電子顕微鏡 |
その他 超位置決め機構に最適 |
特 徴
| 超微動送りが可能です。 |
小型軽量化に成功。 |
応答性に優れています。 |
形 状
アクチュエータ挿入固定ステージ
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ＰＳ－６０
| ストローク |
１５、３６、５３μｍ |
| 分解能 |
０.１μｍ |
| 再現性 |
０.１μｍ |
| 真直度 |
１〃以下 |
| 駆動電圧 |
１５０～３００Ｖ |
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ＰＳ－６０Ｔ（透過型）
| ストローク |
１５、３６、５３μｍ |
| 分解能 |
０.１μｍ |
| 再現性 |
０.１μｍ |
| 真直度 |
１〃以下 |
| 駆動電圧 |
１５０～３００Ｖ |
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アクチュエータ内蔵型
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ＰＺＴ－６０ＸＹ
| ストローク |
５０（X)×５０（Y)μｍ
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| 分解能 |
０.１μｍ |
| 再現性 |
０.１μｍ |
| 真直度 |
１〃以下 |
| 駆動電圧 |
３００Ｖ |
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ＰＳ－Ｍ９
| ストローク |
５０μｍ
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| 分解能 |
０.１μｍ |
| 再現性 |
０.１μｍ |
| 真直度 |
１〃以下 |
| 駆動電圧 |
３００Ｖ |
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Ｚ軸拡大機構ステージ
| アクチュエータ |
| 駆動方式 |
ピエゾアクチュエータ
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| 駆動電源 |
０～１００Ｖ |
| ピエゾアクチュエータ |
積層型 |
| フィールドバック関係 |
| フィールドバック制御機構 |
有り |
| 制御用センサー |
静電容量方式 |
| センサー形状 |
φ４orφ６、長さ１０ｍｍor５ｍｍ |
| ステージ特性 |
| 移動ストローク |
１００μｍ以上 |
| 変位拡大機構 |
可 |
| 共振周波数（負荷１２０ｇ） |
３００Ｈｚ以上 |
| 回転方向の軸ずれ |
３０μrad 以下 |
| 直進方向の軸ずれ |
１００μｍ以下 |
| 光 学 系 |
| レンズ倍率 |
５０倍 |
| レンズ重量 |
１２０ｇ程度 |
| 外 観 他 |
| サイズ |
ＰＩ社 ７２１.２０相当 |
| 重量 |
２５０ｇ |
| 材質 |
Ａ１ |
| 表面処理 |
黒アルマイト 但しセンサーターゲット面に導通があること。 |
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