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特 徴
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対物レンズの焦点調節用に開発され、シンプルな機構で長い調節距離と小型軽量化を実現しております。 |
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専用のコントローラ、ソフトウエア(各別売り)と組み合わせることで自動焦点装置を構築できます。 |
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原理的に並進機構採用のため軸方向のブレが小さい。真空中での使用可能です。(ご相談ください。) |
仕 様
最大変位量 |
150 |
μm |
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最大駆動電圧 |
150 |
V |
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変位センサー |
歪センサー |
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標準装備 |
変位センサー |
6Φ静電容量型 |
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オプション |
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共振周波数 |
500 |
Hz |
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材 質 |
アルミ・ジュラルミン |
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重 量 |
約100 |
g |
レンズ含まず |
最大荷重 |
約250 |
g |
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PZT 関連製品
アクチュエータ |
板バネステージ |
PZT用電源 |
特注対応 |
標準型 |
X.Y.XY.Z |
サーボコントローラ |
ミラーチルター |
真空対応型 |
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スリットコントローラ |
拡大機構付き |
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自動焦点Sys |
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. その他 |

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